由于其優(yōu)越的性能，干式螺桿真空泵已成為電子行業(yè)、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選的真空采集設(shè)備。日本在螺桿式壓縮機(jī)的基礎(chǔ)上，很早就開發(fā)出真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設(shè)備公司已逐步開發(fā)出等螺距和變螺距的轉(zhuǎn)子型線，并對(duì)螺桿泵在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面的關(guān)鍵技術(shù)問題做了大量研究。

　　作為抽氣設(shè)備的真空泵，隨著工業(yè)要求的不同，有各種各樣的真空泵。二十世紀(jì)領(lǐng)先該技術(shù)類別的產(chǎn)品是光滑密封泵，排放油霧，嚴(yán)重污染環(huán)境;只要滿足少數(shù)行業(yè)的特殊需求，采用無油泵或水環(huán)泵的泵(濕泵)。這些泵真空度低，水和能源消耗嚴(yán)重。如果有干燥的要求，他們必須采用繁瑣的物理和化學(xué)吸附和低溫冷凝。成本很貴，比如隔膜泵，真空度低，抽速低。吸附泵不僅泵速低，而且液氮成本高。簡(jiǎn)而言之，它們可以直接排放到大氣和高真空中。此外，還有羅茨泵采用多葉片串聯(lián)停止串聯(lián)，其缺陷與爪式泵相同。

　　干式螺桿真空泵是一種容積式泵，它利用一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)高速同步反向旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生吸排功能。主要用于高純度真空工藝，真空度高，能適應(yīng)惡劣的工作條件，具有提取可凝性和顆粒狀氣體的能力，特別適用于電子、化工、生物醫(yī)藥、金屬加工、食品加工等領(lǐng)域。

　　隨著我國工業(yè)領(lǐng)域的現(xiàn)代化發(fā)展，對(duì)環(huán)保和清潔的真空環(huán)境的要求也會(huì)越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已無法達(dá)到這一的要求。干式螺桿泵真空泵以其顯著特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽速范圍廣、抽氣腔元件無摩擦、壽命長，能耗低，無油無污染等，得到更多工業(yè)企業(yè)的重視和使用。這無形中會(huì)改變?cè)静粔颦h(huán)保的大環(huán)境，干式螺桿真空泵在真空設(shè)備大家族的地位也將進(jìn)一步提升。