1、真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
2、真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度單位
通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。
1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱
4、托與帕的轉(zhuǎn)換
1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
5、平均自由程
作無規(guī)則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
6、流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

7、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。
符號記作“U”。U＝Q/(P2- P1)
8、壓力或壓強

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。

9、標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。
10、極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣，再經(jīng)12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
11、抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
12、羅茨真空泵
具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。
13、真空系統(tǒng)常用名稱
(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。