2020年12月10日，普發(fā)真空推出全新HiPace 350 和 450 渦輪分子泵，該產(chǎn)品特別適用于質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、測(cè)量技術(shù)、粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用。新產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外，還可用于真空鍍膜、研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域。

2020年5月14日，愛德華真空發(fā)布EDWARDS渦輪分子泵nEXT 730 & 930新品。該新品有更高抽速（氮?dú)猓?30l/s、925l/s；可360°任意角度安裝；TIC控制器可同時(shí)控制分子泵和三路真空規(guī)管；維護(hù)間隔長(zhǎng)，用戶可自主維護(hù)；設(shè)計(jì)靈活等特點(diǎn)。

除了這2個(gè)品牌，安捷倫也發(fā)布了全新一代渦輪分子泵，稱該全新產(chǎn)品具有高性能、高可靠性的同時(shí)，還能做到更經(jīng)濟(jì)。好凱德新推出的一款渦輪分子泵機(jī)組，是專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的。

這些知名真空泵品牌為何花大量時(shí)間在渦輪分子泵的新品設(shè)計(jì)和生產(chǎn)中呢？渦輪分子泵市場(chǎng)又有哪些新發(fā)展？

渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。其優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。好凱德渦輪分子泵還具有較高的性價(jià)比和靈活的安裝方式，高抽速不受高負(fù)荷或雜質(zhì)氣體侵入影響。

渦輪分子泵主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、光學(xué)、鍍膜和變壓器領(lǐng)域；同時(shí)也廣泛應(yīng)用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域。半導(dǎo)體領(lǐng)域中，分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。

由于半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速，分子泵的市場(chǎng)拓展速度很快。

在國(guó)外，分子泵在半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置中，用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足半導(dǎo)體等不同領(lǐng)域的個(gè)性化需求。

國(guó)外品牌已先一步推出新品分子泵以適應(yīng)快速發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)，相信很快國(guó)內(nèi)真空泵品牌也會(huì)有新突破。