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為真空而生

專注真空泵與系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造16年

400-116-8220 137 1335 1358
油式旋片真空泵
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  • 無(wú)油爪式真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)

    無(wú)油爪式真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)

    爪式真空泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的,它有如下一些優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn):1)泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑劑,因而無(wú)返油現(xiàn)象發(fā)生;2)抽氣原件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)(3000r/min);3)與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損;4)在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除;5)該泵型式多樣,功能可以擴(kuò)展,泵的主體,帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備,附件有入口處防反流的閥門,出口處有截流閥,電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置;6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤(rùn)滑,上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤(rùn)滑;

    2020-08-14 0
    2020-08-14 閱讀量:0
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