干式螺桿式真空泵是一種工作容積作回轉(zhuǎn)運(yùn)動的容積式機(jī)械真空泵。氣體的壓縮依靠容積的變化來實(shí)現(xiàn)，螺桿泵的一對轉(zhuǎn)子在機(jī)殼內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動來達(dá)到容積的變化。其工作容積在周期性擴(kuò)大和縮小的同時，空間位置也隨之變更。干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，泵工作時，相互之間無磨擦，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此干式螺桿式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)省能源，免維修等優(yōu)勢。下面就看一下使用的流程吧。

　　一、日常檢查。

　　檢查干式螺桿真空泵是不是安裝橫平豎直。地腳螺釘是不是擰緊。電動機(jī)連接線是不是接駁正常。電動機(jī)轉(zhuǎn)向是不是正常，如果反向轉(zhuǎn)動的話，應(yīng)馬上改正。進(jìn)氣管道、排氣管道是不是密封。冷卻水管道是不是接好、漏水，消音器是不是安裝好，進(jìn)氣口閥門是不是安裝好。然后觀察泵轉(zhuǎn)動方向是不是和泵上所標(biāo)識的是不是一樣，如果不一樣，馬上改正。每次運(yùn)行螺桿真空泵，都須使泵先空運(yùn)行一小段時間，將泵內(nèi)和消音器內(nèi)的液體排出，直到排氣口。無液體排出，為泵正常運(yùn)行作準(zhǔn)備。打開冷卻水閥門。

　　二、運(yùn)行和轉(zhuǎn)動。

　　打開干式螺桿真空泵進(jìn)氣閥門和關(guān)閉進(jìn)氣口。應(yīng)觀察轉(zhuǎn)動中的各項(xiàng)數(shù)據(jù)是否正常，對泵保護(hù)有很重要。由于干泵的特殊構(gòu)造，其轉(zhuǎn)動以后的電流和機(jī)械泵、羅茨泵等不一樣。干式螺桿式真空泵在極限壓力情況下，電流會變大，是屬于正常情況。在同大氣情況下會小，也是屬正常情況，

　　三、使用后停機(jī)檢查。

　　當(dāng)干式螺桿真空泵使用后，應(yīng)關(guān)閉進(jìn)氣口閥門。打開排氣口閥門，應(yīng)切斷泵電動機(jī)電源。在溫度低的時候，要放盡泵內(nèi)的冷卻水，以免在冬季或在寒冷的環(huán)境，泵內(nèi)的水凍壞泵體，致干式螺桿真空泵不能運(yùn)行。

　　伴隨著國內(nèi)工業(yè)界的發(fā)展趨勢，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示屏等工藝生產(chǎn)制造中，對清潔真空環(huán)境的需求變得越來越高，而一般的有油真空泵現(xiàn)已達(dá)不到這樣的需求了。干式螺桿真空泵以其抽速范圍寬、構(gòu)造簡單緊密、抽氣腔元件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)勢，獲得越來越多生產(chǎn)制造和應(yīng)用企業(yè)的重視，在干式真空